潔凈室不僅僅對(duì)室內(nèi)空氣潔凈度有嚴(yán)格的要求，針對(duì)運(yùn)行環(huán)境的噪音也有一定的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，因?yàn)闈崈羰臆囬g是一個(gè)相對(duì)密閉的、比較壓抑的一個(gè)環(huán)境，如果噪音控制不當(dāng)，很容易造成車間工作人員以及生產(chǎn)環(huán)境的惡化。  

① 噪聲的測(cè)定方法：  

       當(dāng)房間的面積不大于 50m2 時(shí)，僅測(cè)定房間中心一個(gè)點(diǎn)。當(dāng)房間的面積較大時(shí)，每增加 50m2 增加一個(gè)測(cè)點(diǎn)。測(cè)點(diǎn)距離地面 1.0m。當(dāng)有條件時(shí)，宜測(cè)房間靜態(tài)工況的噪聲和本底噪聲。  

② 合格標(biāo)準(zhǔn)：  

        應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，根據(jù)（潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范）的要求，潔凈室空態(tài)情況下非單向流潔凈室的噪聲不應(yīng)大于 60dB(A)。單向流和混合流潔凈室的噪聲不應(yīng)大于 65 dB(A)。  

潔凈室噪聲控制 

       潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應(yīng)、語(yǔ)言通訊干擾和對(duì)工作效率的影響。國(guó)內(nèi)對(duì)于噪聲對(duì)于健康影響的研究表明，低于80dB（A）的一般工業(yè)噪聲對(duì)健康的影響不太大。 

        國(guó)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的研究工作開(kāi)始于20世紀(jì)60年代。1966年制定的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209a和1974修訂的209b規(guī)定：“潔凈室的噪聲控制在可能進(jìn)行必要的通話，滿足操作或產(chǎn)品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內(nèi)”。在ISO/DIS14644-4標(biāo)準(zhǔn)（草案）中規(guī)定：“應(yīng)根據(jù)潔凈室內(nèi)人的舒適和安全要求及環(huán)境（如其它設(shè)備）的背壓級(jí)來(lái)選擇適宜的聲壓級(jí)。潔凈室的聲壓級(jí)范圍為40-65dB（A）”。 

       從搜集的國(guó)內(nèi)外潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)來(lái)看，有以下幾個(gè)特點(diǎn)：潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運(yùn)行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65-70dB（A）范圍，醫(yī)療行業(yè)更低?，F(xiàn)行的大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)均以A聲級(jí)作為評(píng)價(jià)指標(biāo)，也有少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于各頻帶聲壓級(jí)提出限制。少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)按不同的空氣潔凈度等級(jí)分別給出噪聲容許值，而大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)不同的空氣潔凈度等級(jí)潔凈室提出一個(gè)統(tǒng)一的容許值。 

       對(duì)國(guó)內(nèi)幾個(gè)行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)噪聲所進(jìn)行的分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪聲有較大的差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在41-64 dB（A），平均為54 dB（A）；單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在51-75 dB（A），平均為65 dB（A）。非單向流潔凈室較之單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11 dB（A）。非單向流潔凈室和單向流、混合流潔凈室靜態(tài)噪聲的差異與其送風(fēng)量（或換氣次數(shù)）和凈化空調(diào)系統(tǒng)的特征有關(guān)。 

       控制設(shè)備噪聲首先應(yīng)從聲源上著手，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)的原因而難于做到時(shí)，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上來(lái)采取降噪措施。例如，把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。必須置于潔凈室內(nèi)的高噪聲設(shè)備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國(guó)內(nèi)有些潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間，或技術(shù)夾道或服務(wù)區(qū)內(nèi)，潔凈室噪聲有明顯的降低。 

       潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來(lái)源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部?jī)艋O(shè)備運(yùn)行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的合理布置及合理的降噪措施。 

       關(guān)于降低潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲的措施，國(guó)內(nèi)外有關(guān)資料提出一些有效措施： 

      《現(xiàn)代潔凈室概念》一文中強(qiáng)調(diào)“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風(fēng)機(jī)，還應(yīng)該采用彈性減振基礎(chǔ)”。關(guān)于消聲器的使用，文中說(shuō)：“管道消聲器在高頻和中頻范圍內(nèi)降低噪聲是有效的，當(dāng)風(fēng)管敷設(shè)長(zhǎng)度在15m內(nèi)時(shí)，就應(yīng)考慮采用消聲器”。關(guān)于風(fēng)管的連接，文中說(shuō)：“通風(fēng)機(jī)和送風(fēng)管道與回風(fēng)管道之間，應(yīng)采用柔性連接管隔開(kāi)”。還要求“將通風(fēng)機(jī)外殼、靜壓箱和管道加上襯里”。 

        對(duì)風(fēng)道系統(tǒng)采取消聲和防止管道固體傳聲等措施，潔凈室噪聲可以大幅度地降低。 

         排風(fēng)系統(tǒng)噪聲對(duì)潔凈室影響極大。以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過(guò)程中，外延、擴(kuò)散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)。近年來(lái)，對(duì)于潔凈廠房排風(fēng)系統(tǒng)噪聲治理日益受到重視，注意選用低噪聲風(fēng)機(jī)等。 

        潔凈室的密封性能比較好，噪聲不易衰減，由于潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境要求比較安靜，按規(guī)定減少風(fēng)管風(fēng)速，既減少了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力，降低了風(fēng)機(jī)壓頭和轉(zhuǎn)速，減弱了風(fēng)機(jī)噪聲，又防止了風(fēng)速過(guò)大而產(chǎn)生的附加噪聲。

        潔凈室在使用期間，除了要對(duì)你潔凈度、溫濕度做測(cè)試和控制之外，對(duì)噪音標(biāo)準(zhǔn)也需要控制。人和凈化解析潔凈室噪音標(biāo)準(zhǔn)和潔凈室噪音控制方法。

        潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應(yīng)、語(yǔ)言通訊干擾和對(duì)工作效率的影響。 

        國(guó)內(nèi)對(duì)于噪音對(duì)于健康影響的研究表明，低于80dB(A)的一般工業(yè)噪聲對(duì)健康的影響不太大。 

        國(guó)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的研究工作開(kāi)始于20世紀(jì)60年代。1966年制定的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209a和1974修訂的209b規(guī)定：“潔凈室的噪聲控制在可能進(jìn)行必要的通話，滿足操作或產(chǎn)品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內(nèi)”。在ISO/DIS14644-4標(biāo)準(zhǔn)(草案)中規(guī)定：“應(yīng)根據(jù)潔凈室內(nèi)人的舒適和安全要求及環(huán)境(如其它設(shè)備)的背壓級(jí)來(lái)選擇適宜的聲壓級(jí)。潔凈室的聲壓級(jí)范圍為40-65dB(A)”。 

       從搜集的國(guó)內(nèi)外潔凈室的噪音標(biāo)準(zhǔn)來(lái)看，有以下幾個(gè)特點(diǎn)：潔凈室的噪音標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運(yùn)行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65-70dB(A)范圍，醫(yī)療行業(yè)更低?，F(xiàn)行的大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)均以A聲級(jí)作為評(píng)價(jià)指標(biāo)，也有少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于各頻帶聲壓級(jí)提出限制。少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)按不同的空氣潔凈度等級(jí)分別給出噪聲容許值，而大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)不同的空氣潔凈度等級(jí)潔凈室提出一個(gè)統(tǒng)一的容許值。 

        對(duì)國(guó)內(nèi)幾個(gè)行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)噪聲所進(jìn)行的分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪音有較大的差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在41-64 dB(A)，平均為54 dB(A);單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在51-75 dB(A)，平均為65 dB(A)。非單向流潔凈室較之單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11 dB(A)。非單向流潔凈室和單向流、混合流潔凈室靜態(tài)噪聲的差異與其送風(fēng)量(或換氣次數(shù))和凈化空調(diào)系統(tǒng)的特征有關(guān)。   控制設(shè)備噪聲首先應(yīng)從聲源上著手，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)的原因而難于做到時(shí)，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上來(lái)采取降噪措施。例如，把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。必須置于潔凈室內(nèi)的高噪聲設(shè)備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國(guó)內(nèi)有些潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間，或技術(shù)夾道或服務(wù)區(qū)內(nèi)，潔凈室噪聲有明顯的降低。 

         潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來(lái)源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部?jī)艋O(shè)備運(yùn)行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的合理布置及合理的降噪措施。 

        關(guān)于降低潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲的措施，國(guó)內(nèi)外有關(guān)資料提出一些有效措施： 

       《現(xiàn)代潔凈室概念》一文中強(qiáng)調(diào)“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風(fēng)機(jī)，還應(yīng)該采用彈性減振基礎(chǔ)”。關(guān)于消聲器的使用，文中說(shuō)：“管道消聲器在高頻和中頻范圍內(nèi)降低噪聲是有效的，當(dāng)風(fēng)管敷設(shè)長(zhǎng)度在15m內(nèi)時(shí)，就應(yīng)考慮采用消聲器”。關(guān)于風(fēng)管的連接，文中說(shuō)：“通風(fēng)機(jī)和送風(fēng)管道與回風(fēng)管道之間，應(yīng)采用柔性連接管隔開(kāi)”。還要求“將通風(fēng)機(jī)外殼、靜壓箱和管道加上襯里”。對(duì)風(fēng)道系統(tǒng)采取消聲和防止管道固體傳聲等措施，潔凈室噪聲可以大幅度地降低。 

        排風(fēng)系統(tǒng)噪聲對(duì)潔凈室影響極大。以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過(guò)程中，外延、擴(kuò)散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)。近年來(lái)，對(duì)于潔凈廠房排風(fēng)系統(tǒng)噪聲治理日益受到重視，注意選用低噪聲風(fēng)機(jī)等。 

         潔凈室的密封性能比較好，噪聲不易衰減，由于潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境要求比較安靜，按規(guī)定減少風(fēng)管風(fēng)速，既減少了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力，降低了風(fēng)機(jī)壓頭和轉(zhuǎn)速，減弱了風(fēng)機(jī)噪聲，又防止了風(fēng)速過(guò)大而產(chǎn)生的附加噪聲。 

潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范里的噪音控制標(biāo)準(zhǔn) 

  1、潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài))，非單向流潔凈室不應(yīng)大于60dB(A)，單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65 dB(A)。 

  2、潔凈廠房的平、剖面設(shè)計(jì)應(yīng)考慮控制要求。潔凈室的維護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能，并使各部分隔聲量相接近。 

  3、潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲值超過(guò)潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施(如隔聲間、隔聲罩等)。 

  4、凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過(guò)允許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)除事故排風(fēng)外應(yīng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。 

  5、凈化空調(diào)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級(jí)要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用總風(fēng)管： 6-10m/s; 

無(wú)送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為4-6m/s; 

有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為2-5m/s。